央视走进中图仪器丨从纳米到百米的精细丈量仪18年打磨硬核科技“尺”

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  ”，从纳米到百米，从触摸式到非触摸式。铸光为尺，见微知著，不断拓宽工业丈量范畴全尺度链条。几许尺度丈量的精度，直接决议了工业制作的高度。不管小如芯片，仍是大如飞机，精细丈量仪器，就像因地制宜时成衣的尺子。深圳一家专精特新企业里有一位高人，研制出了能丈量从1纳米到1百米的工业“尺子”。

  马豪杰从业18年来，尽管只做了15台丈量仪，但每一台都独具特色。其间丈量最快的一台，叫闪测仪。

  深圳中图仪器股份有限公司董事长 马豪杰：我手上拿的便是手机上一块精细的结构件，几秒丈量，几百个尺度直接显示出来，并且达到了微米级的精度。

  马豪杰结业于清华大学精细仪器专业，后在研究所作业期间，他发现试验室里的精细仪器全都来自国外，这让他产生了创业做国产几许丈量仪的主意。这台指示表检测仪，是马豪杰当年研制出的第一款精细丈量仪器。

  但这些都还不是精度最高的“尺子”。这枚看似润滑的晶圆，放在显微丈量仪下，外表变得错落有致起来，通过丈量，高度差仅有6.1纳米。但它还将被切割成更小的方块，才干运用。

  深圳中图仪器股份有限公司董事长 马豪杰：这台仪器它的精度十分高，达到了0.1纳米的分辨率，半导体范畴现已很多运用。

  这家企业的丈量绝活可不止于细小范畴。马豪杰的团队潜心研究6年，研制出可测百米尺度的激光盯梢仪，处理了大型、超大型工件或设备的高精度丈量问题。

  深圳中图仪器股份有限公司副总经理 张和君：这是一架飞机模型，核心部件丈量精度有必要控制在0.1毫米至0.2毫米之间，飞机的安装才或许正真的确保严丝合缝。激光盯梢仪是仅有一起具有微米等级丈量精度，和百米作业空间的高性能光电仪器。

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